Trosolwg o Ffotowrthsefyll
Mae ffotoresist, a elwir hefyd yn ffotoresist, yn cyfeirio at ddeunydd ffilm denau y mae ei hydoddedd yn newid pan gaiff ei amlygu i olau UV, trawstiau electron, trawstiau ïon, pelydrau-X, neu ymbelydredd arall.
Mae'n cynnwys resin, ffotogychwynnydd, toddydd, monomer, ac ychwanegion eraill (gweler Tabl 1). Resin ffotowrthsefyll a ffotogychwynnydd yw'r cydrannau pwysicaf sy'n effeithio ar berfformiad ffotowrthsefyll. Fe'i defnyddir fel haen gwrth-cyrydu yn ystod y broses ffotolithograffeg.
Wrth brosesu arwynebau lled-ddargludyddion, gall defnyddio ffotowrthiant detholus priodol greu'r ddelwedd a ddymunir ar yr wyneb.
Tabl 1.
| Cynhwysion Ffotowrthsefyll | Perfformiad |
| Toddydd | Mae'n gwneud ffotowresist yn hylif ac yn anweddol, ac nid oes ganddo bron unrhyw effaith ar briodweddau cemegol ffotowresist. |
| Ffotogychwynnydd | Fe'i gelwir hefyd yn ffotosensiteiddiwr neu asiant ffotocurio, ac mae'n gydran ffotosensitif mewn deunydd ffotowrthsefyll. Mae'n fath o gyfansoddyn a all ddadelfennu'n radicalau rhydd neu gatïonau a chychwyn adweithiau croesgysylltu cemegol mewn monomerau ar ôl amsugno egni golau uwchfioled neu weladwy o donfedd benodol. |
| Resin | Mae'n bolymerau anadweithiol, ac mae'n gweithredu fel rhwymwyr i ddal y gwahanol ddefnyddiau mewn ffotowrthsefyll gyda'i gilydd, gan roi ei briodweddau mecanyddol a chemegol i'r ffotowrthsefyll. |
| Monomer | Fe'i gelwir hefyd yn wanhawyr gweithredol, maent yn foleciwlau bach sy'n cynnwys grwpiau swyddogaethol polymerizable ac yn gyfansoddion pwysau moleciwlaidd isel a all gymryd rhan mewn adweithiau polymerization i ffurfio resinau pwysau moleciwlaidd uchel. |
| Ychwanegyn | Fe'i defnyddir i reoli priodweddau cemegol penodol ffotoresistau. |
Mae ffotowrthseisyddion yn cael eu dosbarthu i ddau brif gategori yn seiliedig ar y ddelwedd maen nhw'n ei ffurfio: positif a negatif. Yn ystod y broses ffotowrthsefyll, ar ôl amlygu a datblygu, mae'r rhannau agored o'r haen yn diddymu, gan adael y rhannau heb eu hamlygu. Ystyrir y haen hon yn ffotowrthsefyll positif. Os yw'r rhannau agored yn aros tra bod y rhannau heb eu hamlygu yn diddymu, ystyrir y haen yn ffotowrthsefyll negatif. Yn dibynnu ar y ffynhonnell golau amlygiad a'r ffynhonnell ymbelydredd, mae ffotowrthseisyddion yn cael eu categoreiddio ymhellach fel UV (gan gynnwys ffotowrthseisyddion UV positif a negatif), ffotowrthseisyddion UV dwfn (DUV), ffotowrthseisyddion pelydr-X, ffotowrthseisyddion trawst electron, a ffotowrthseisyddion trawst ïon.
Defnyddir ffotowresist yn bennaf wrth brosesu patrymau mân mewn paneli arddangos, cylchedau integredig, a dyfeisiau lled-ddargludyddion arwahanol. Mae'r dechnoleg gynhyrchu y tu ôl i ffotowresist yn gymhleth, gydag amrywiaeth eang o fathau a manylebau cynnyrch. Mae gweithgynhyrchu cylchedau integredig y diwydiant electroneg yn gosod gofynion llym ar y ffotowresist a ddefnyddir.
Mae Ever Ray, gwneuthurwr sydd â 20 mlynedd o brofiad sy'n arbenigo mewn cynhyrchu a datblygu resinau ffoto-welladwy, yn ymfalchïo mewn capasiti cynhyrchu blynyddol o 20,000 tunnell, llinell gynnyrch gynhwysfawr, a'r gallu i addasu cynhyrchion. Mewn ffoto-wrthseist, mae gan Ever Ray resin 17501 fel y prif gydran.
